清洗装置与周边设备

面对不断趋于小型化、薄型化、轻量化的各种半导体部件和电子部件，在量产级别上有效实现高质量清洗。

1. 清洗装置

使用清洗剂PINE ALPHA，形成分别适合每种清洗对象的各种清洗方式。

荒川化学基于清洗实验数据，提供清洗方式和清洗工序。

直落式		•联机型喷淋清洗机 •缝隙间清洗性能优异(适应于30μm左右的缝隙) •高产能	薄型倒装芯片贴装线路板 内插板
直通式		•批量型直通式清洗机 •可适用于多品种量产 •部件内部清洗性能优异(适用于50μm左右的缝隙) •高量产性	高度集成化倒装芯片封装 各种电子部件
旋风喷流式		•单片喷淋清洗机 •适用于薄型晶圆、薄型线路板	晶圆级CSP(适应于300mm直径) 内插板

2. 周边设备

我们准备了旨在使用清洗剂PINE ALPHA实施高效清洗的周边设备。

纯水处理

纯水再生装置 PINEREC		对冲洗水进行再生处理。
冲洗水净化装置 PINECAT		去除预冲洗水中带入的酸、金属离子等将会引起腐蚀的物质。

浓度计

水分计 PINECON ACT-100		对清洗剂PINE ALPHA中的水分浓度实施管理。(PINE ALPHA用)
清洗剂与助焊剂浓度计 PINECON PR-201α		对清洗剂中的助焊剂浓度实施管理。 对冲洗水中的清洗剂浓度实施管理。(带校准线)